搜索

杏林建設

手機端

版權所有:北京杏林建設工程有限公司

公眾平臺

返回首頁        關于我們        產品與方案        典型案例        新聞中心        技術支持        聯系我們

底部

您現在的位置:

瀏覽量

超凈實驗室

沒有此類產品
產品描述

超凈間介紹

超凈間(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室?!赋瑑糸g」是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 超凈間最主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造,此空間我們稱之為「超凈間」。

超凈間管控項目:

1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。

2. 能防止微塵粒子之產生。

3. 溫度和濕度之控制。

4. 壓力之調節。

5. 有害氣體之排除。

6. 結構物與隔間之氣密性。

7. 靜電之防制。

8. 電磁干擾預防。

9. 安全因素之考慮。

10. 節能之考量。

超凈間分類

亂流式(Turbulent Flow)

空氣由空調箱經風管與超凈間內之空氣過濾器(HEPA)進入超凈間,并由超凈間兩側隔間墻板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。此型式適用于超凈間等級1,000-100,000級。

優點:構造簡單、系統建造成本,超凈間之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可并用無塵工作臺,提高超凈間等級。

缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時相當長一段時間。

層流式(Laminar)

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內,并由高架地板或兩側隔墻板回風,此型式適用于超凈間等級需定較高之環境使用,一般其超凈間等級為Class 1~100。其型式可分為二種:

(1)水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊墻壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側污染較嚴重。

優點:構造簡單,運轉后短時間內即可變成穩定。

缺點:建造費用比亂流式高,室內空間不易擴充。

(2)垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔凈度,在制程中或工作人員所產生的塵??煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^域。

優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易為作業狀態或作業人員所影響。

缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。

3.復合式(Mixed Type)

復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用,可提供局部超潔凈之空氣。

(1)潔凈隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。

此型式需將作業人員之工作區與產品和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。

潔凈隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。

(2)潔凈管道(Clean Tube):將產品流程經過的自動生產線包圍并凈化處理,將潔凈度等級提至100級以上。因產品和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔凈度,可節省能源,不需人工的自動化生產線為最適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

(3)并裝局部超凈間(Clean Spot):將超凈間等級10,000~100,000之亂流超凈間內之產品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上,以為生產之用;潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風柜即屬此類。

潔凈工作臺:等級Class 1~100級。

潔凈工作棚:為在亂流式之超凈間空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間,采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風機組而成為一較高

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加
暫未實現,敬請期待
暫未實現,敬請期待

冶金、鑄造、機械加工、電力、食品等行業

為中國用戶提供一流的技術服務

品融合了多項自主創新技術

相關附件

少妇太爽了在线观看_狠狠色综合色综合网站_亚洲综合色在线视频www